メリット:
SEM試料の前処理として最適に完全自動化されたアルゴンイオンビームミリングシステムです。ダメージの少ない加工表面、加工断面、コーティング(保護膜または帯電除去用)が出来ます。
- 1回のポンプダウンで試料を加工およびコーティングが可能
- 100 Vの低加速電圧での加工による、高速でダメージのない試料表面処理
- 最大直径32 mmの試料を使用可能
- 大気非暴露試料搬送に対応：PECS™ IIからSEM/FIBまたはグローブボックスに試料を移動可能(オプション)
- GatanのDigitalMicrograph®ソフトウェアでのデジタル光学画像の取得および自動保存
- 10インチの統合カラータッチスクリーンを使用して、すべてのPECS IIパラメータを表示および制御
Ultramicroscopy
2020
Journal of Materials Science
2016
モデル685
データシート
アプリケーション
ブロードイオンビーム処理(カッティング、エッチング、コーティング)による、不均一SEM試料の3D顕微鏡検査および微量分析
セラミック複合体の3D顕微鏡検査および微量分析のための高度なブロードイオンビーム処理
不均一固体の3D調査における、集束イオンビーム(FIB)技術と比較したブロードイオンビーム(BIB)処理のメリット
PECSシステムを使用したイオンビーム傾斜カッティングの適用
集積回路および層構造の3D走査電子顕微鏡検査および微量分析のためのPECSシステムによるブロードイオンビームグリッドカッティング
SEMによる表面およびバルク属性の同時調査のための、イオンビーム準備手順の組み合わせ
材料解析におけるイオンビームエッチングの適用
PECSシステムを使用した金属複合材のイオンビームエッチング
変形した金属の3次元SEM分解Kikuchi (EBSD)およびKosselマイクロ回折解析のためのイオンビーム準備手順
精密エッチングおよびコーティングシステム(PECS)を使用したSEM技術
プロトコル
関連製品
高解像度イオンビームコーター
Met-etchシステム
Gatan Microscopy Suite®ソフトウェア
Ilion IIシステム