PECS IIシステム

SEMのイメージングおよび分析技術のための試料の研磨およびコーティング用に設計されたブロードアルゴンイオンビームシステム。

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メリット: 

SEM試料の前処理として最適に完全自動化されたアルゴンイオンビームミリングシステムです。ダメージの少ない加工表面、加工断面、コーティング(保護膜または帯電除去用)が出来ます。

  • 1回のポンプダウンで試料を加工およびコーティングが可能
  • 100 Vの低加速電圧での加工による、高速でダメージのない試料表面処理 
  • 最大直径32 mmの試料を使用可能
  • 大気非暴露試料搬送に対応:PECS™ IIからSEM/FIBまたはグローブボックスに試料を移動可能(オプション)
  • GatanのDigitalMicrograph®ソフトウェアでのデジタル光学画像の取得および自動保存
  • 10インチの統合カラータッチスクリーンを使用して、すべてのPECS IIパラメータを表示および制御

Publications

Journal of Materials Science
2016

Mas, F.; Tassin, C.; Valle, N.; Robaut, F.; Charlot, F.; Yescas, M.; Roch, F.; Todeschini, P.; Bréchet, Y.

Macromolecular Rapid Communications
2015

Kovačič, S.; Mazaj, M.; Ješelnik, M.; Pahovnik, D.; Žagar, E.; Slugovc, C.; Logar, N. Z.

リソース:

 

モデル685

データシート

PECS IIシステム

アプリケーション

ブロードイオンビーム処理(カッティング、エッチング、コーティング)による、不均一SEM試料の3D顕微鏡検査および微量分析
セラミック複合体の3D顕微鏡検査および微量分析のための高度なブロードイオンビーム処理 
不均一固体の3D調査における、集束イオンビーム(FIB)技術と比較したブロードイオンビーム(BIB)処理のメリット
PECSシステムを使用したイオンビーム傾斜カッティングの適用
集積回路および層構造の3D走査電子顕微鏡検査および微量分析のためのPECSシステムによるブロードイオンビームグリッドカッティング
SEMによる表面およびバルク属性の同時調査のための、イオンビーム準備手順の組み合わせ
材料解析におけるイオンビームエッチングの適用
PECSシステムを使用した金属複合材のイオンビームエッチング
変形した金属の3次元SEM分解Kikuchi (EBSD)およびKosselマイクロ回折解析のためのイオンビーム準備手順
精密エッチングおよびコーティングシステム(PECS)を使用したSEM技術

プロトコル

クリーニング銃や冷陰極ゲージ

関連製品

高解像度イオンビームコーター
Met-etchシステム

Gatan Microscopy Suite®ソフトウェア
Ilion IIシステム

ファームウェア

ダウンロード

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