PECS IIシステム

SEMのイメージングおよび分析技術のための試料の研磨およびコーティング用に設計されたブロードアルゴンイオンビームシステム。

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メリット: 

SEM試料の前処理として最適に完全自動化されたアルゴンイオンビームミリングシステムです。ダメージの少ない加工表面、加工断面、コーティング(保護膜または帯電除去用)が出来ます。

  • 1回のポンプダウンで試料を加工およびコーティングが可能
  • 100 Vの低加速電圧での加工による、高速でダメージのない試料表面処理 
  • 最大直径32 mmの試料を使用可能
  • 大気非暴露試料搬送に対応:PECS™ IIからSEM/FIBまたはグローブボックスに試料を移動可能(オプション)
  • GatanのDigitalMicrograph®ソフトウェアでのデジタル光学画像の取得および自動保存
  • 10インチの統合カラータッチスクリーンを使用して、すべてのPECS IIパラメータを表示および制御

パブリケーション

Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences
2021

Zhou, T.; Babu, R. P.; Hou, Z.; Hedström, P.

Journal of Magnesium and Alloys
2021

Liu, X. Q.; Qiao, X. G.; Pei, R. S.; Chi, Y. Q.; Yuan, L.; Zheng, M. Y.

Ultramicroscopy
2020

Gholinia, A.; Curd, M. E.; Bousser, E.; Taylor, K.; Hosman, T.; Coyle, S.; Hassel Shearer, M.; Hunt, J.; Withers, P. J.

リソース:

 

モデル685

データシート

PECS IIシステム

アプリケーション

Damage-free preparation of a porous Zn alloy with a Cu coating

Removing the oxide layer from magnesium alloys to allow successful EBSD data collection

Specimen surface and thickness effects on EDS mapping

良好なEBSD測定を可能とする多相アルミニウム合金表面の最適化

材料解析におけるイオンビームエッチングの適用

Interphase analysis in multiphase CoRe alloy

セラミック複合体の3D顕微鏡検査および微量分析のための高度なブロードイオンビーム処理 

精密エッチングおよびコーティングシステム(PECS)を使用したSEM技術

不均一固体の3D調査における、集束イオンビーム(FIB)技術と比較したブロードイオンビーム(BIB)処理のメリット

PECSシステムを使用したイオンビーム傾斜カッティングの適用

集積回路および層構造の3D走査電子顕微鏡検査および微量分析のためのPECSシステムによるブロードイオンビームグリッドカッティング

SEMによる表面およびバルク属性の同時調査のための、イオンビーム準備手順の組み合わせ

PECSシステムを使用した金属複合材のイオンビームエッチング

ブロードイオンビーム処理(カッティング、エッチング、コーティング)による、不均一SEM試料の3D顕微鏡検査および微量分析

変形した金属の3次元SEM分解Kikuchi (EBSD)およびKosselマイクロ回折解析のためのイオンビーム準備手順

プロトコル

クリーニング銃や冷陰極ゲージ

関連製品

高解像度イオンビームコーター
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Gatan Microscopy Suite®ソフトウェア
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ファームウェア

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