EDX quantifizierung mit standards als alltagstaugliches verfahren durch FSQ in APEX

EDAX ermöglicht mit der neueste APEX Software umfassende Flexibilität in der Quantifizierung von EDX Analysen. Während standardmäßig das eZAF Model Matrix Effekte berücksichtigt, kann für geometrisch anspruchsvolle Materialien PeBaZAF verwendet werden, bei welchem das Peak zu Untergrund Verhältnis zur Berechnung herangezogen wird. Aufgrund der Benutzerfreundlichkeit, der schnellen und einsatzbereiten Ergebnisse und der geringen Anforderungen, die für die Durchführung dieser Analyse erforderlich sind, wird die standardlose normalisierte Quantifizierung bisher mit Abstand am häufigsten verwendet. Da die notwendigen Parameter nicht vollständig definiert sind, wird eine Normalisierung der Gewichtsanteile der vorhandenen Elemente notwendig. In APEX wurde die sogenannte Referenz eingeführt, bei welcher durch eine kurze Messung eines Reinelementes ein einzigartiger Skalierungs-Wert berechnet werden kann, um die unbekannten physikalischen Parameter zu eliminieren. Dies macht die Verwendung der Normalisierungsbedingung bei der Quantifizierung überflüssig und erlaubt für den direkten Wechsel zu nicht-normalisierten Ergebnissen. Darüber hinaus kann diese Referenz als SCC/SF gespeichert werden, um komplexe Analysen durchzuführen und z.B. die ineffiziente Anregung eines Elementes bei niedrigen Strahlenergien zu berücksichtigen. Bei der Messung eines Standards wird der zugehörig Referenzwert im Spektrum verankert und kann damit Unterschiede zur Probenmessung ausgleichen. Die Komplexität der Quantifizierung mithilfe von Standards wird dadurch erheblich verringert und die Verwendung einer Datenbank wird nun möglich. Zur Auswahl der gespeicherten Standards steht ein implementierter Algorithmus zur Verfügung, welcher den Standard mit der geringsten ZAF Korrektur für die Quantifizierung heranzieht.