メリット:
画期的な光学系によって、Monarcの感度とスペクトル分解能が大幅に向上し、これまでのCL分析結果は波長分解能と角度分解能の情報により強化されました。この次世代のCL検出器は、ナノフォト二クス、オプトエレクトロニクス、地球科学といった最先端のアプリケーションにおいて新たな知見をもたらします。
最高のデータを高速で取得
- 比類無い空間分解能 (<10 nm)、角度分解能 (1°)、そして波長分解能 (0.1 nm) でCLデータを取得
- 角度分解CLと波長分解CLデータを同時取得
- これまでのCL検出器と比較して、最高30倍の速さでハイパースペクトルデータを収集
あらゆるユーザーに対して簡単な操作を実現
- 完全自動化されたアライメントと、レシピによる操作系によって最適な結果が保障されます
- アライメント済みの安定した光学系により、短、長期に渡って再現性のある結果を実現
- データスループットの向上のために、最大の分析視野範囲が利用可能であり、ユーザーのワークフローを簡単にします
他の手法による信号との最も正確な相関付け
- 物理的な特性と組成をCLデータと相関付けるために、複数の信号の同時検出が可能
- 妥協が不要 – CL測定中においてもインレンズSEM用検出器が利用可能
独自の機能
- 角度分解能 (ARCL): 回折限界よりもはるかに小さな角度における、光と物質の間の相互作用に関する知見が得られます - これまでのCL検出器と比較して、400倍の分析視野範囲を達成しており、実質的に分解能の低下もありません (特許出願中)
- 波長と角度分解能 (WARCL): 光と物質の間の相互作用を、複数の観察角度と波長に対して完全な分解能で可視化可能です - これまで不可能、あるいは現実的では無いような測定が、Monarcの独自の光学系によってルーチンの測定となります
- 偏光フィルタリング: 光学ナノアンテナ、ナノキャビティ、フォトニック結晶のような、波長を大きく下回る構造の発光偏光特性を決定可能です
モデル 450, 450.P
データシート
アプリケーション
Cathodoluminescence as a technique for inspection, metrology, and failure analysis of μLED processing
SEMにおける最先端のマクロアナリシス
Cathodoluminescence techniques for the geosciences
High-speed, hyperspectral (spectrum) imaging for all with the Monarc detector
Investigating the optical properties of nanophotonic materials far below the diffraction limit
Complete understanding of light emission with nanoscale spatial resolution
関連製品
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