STEMPackスペクトルイメージング

STEMPack™ システムは、走査透過型電子顕微鏡法 (STEM) のためのGatan社のeaSIテクノロジーの中核をなすもので、Scanningモードにおけるマルチモーダル、多次元のデータ取得 (STEMスペクトラムイメージング) を実現します。

スペクトルイメージングは指定された試料上の領域から、完全自動化されたプロセスで最大限の情報を収集します。STEMPackシステムは、電子エネルギー損失分光法(EELS)、エネルギー分散型X線分析法(EDS)、カソードルミネッセンス放出(CL)、吸収/誘導電流(EBAC/EBIC)、電子回折など、さまざまな検出器からのデータの取得をサポートします。それにより取得されたスペクトルデータを強力な処理と視覚化手法で分析することで、試料固有の詳細な情報が明らかになります。詳細なスペクトル情報と高い空間分解能を兼ね備えていることは電子顕微鏡法の最も強力な要素であり、この能力はSTEMPackシステムで実感できます。

• 機能豊富な取得オプションでデータの柔軟性とアーティファクトの除去を最大限に高める
• 1つのアプリケーションで、単一スペクトルの場合と同じように高密度のデータセットを簡単に分析でき、さらに様々な手法のデータと結果を相互に直接参照できる
• 自由に設定可能な取得条件で、必要な分析範囲と分析領域を指定する
• 電子顕微鏡で生成されたほぼすべての信号をスペクトルイメージの一部として同時に取得する
• ハードウェアを用いた直接通信を行うことで、詳細なマッピングを高速でかつ照射電子線を無駄なく利用し取得する
• 初心者でも経験豊富な専門家でも、簡単だが柔軟性の高いユーザーインターフェイスで優れた結果を得ることができる