EFTEM

エネルギーフィルタ透過型電子顕微鏡法(EFTEM)は、エネルギー損失スペクトルの特性を活用することで、画像のコントラストを強化し、色収差の影響を排除し、独自のコントラスト効果をもたらすイメージング手法です。主な用途は次のとおりです。

• コントラスト強化 – バックグラウンドのぼやけを生じる非弾性散乱電子を除去し、像および回折パターンのコントラストを高める
  • ゼロロスフィルタリング、エネルギーロス最大強度イメージング、コントラスト調整、プレカーボン・イメージングなど
• マッピング – 非弾性散乱電子で結像することで、ナノメートルレベルの解像度で元素/化学マップを作成する
  • 高解像度のイメージングが可能なツーウィンドウ法およびスリーウィンドウ法の元素マッピング/ジャンプレシオ・イメージング、化学結合マッピングなど
• 分析 – TEM試料の化学分析のための、電子エネルギー損失スペクトル(およびマップ)の取得および定量化

EFTEMの原理は、極薄試料に高エネルギー電子ビームを照射した際の電子の振舞いに基づいています。ほとんどの電子は遮られることなく試料を通過しますが、一部の電子は試料と相互作用し、弾性または非弾性散乱を生じます。非弾性散乱により、エネルギーの損失と運動量の変化が生じ、内殻励起の場合、試料内の元素の特性を示します。

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