概要:
EDSとは
エネルギー分散型X線分光法(EDS、EDX、XEDSなど)は、試料の分析と評価に使用される分析手法です。
元素組成分析は、異物、皮膜組成、微量構成物質、迅速な合金の同定、腐食評価、さらに相の同定や分布について理解するための重要な手法です。GatanのEDSツールは、これらの材料研究において定性的および定量的な知見をもたらし、微細構造の特定に役立つ元素マップを作成できます。
局所的な原子の化学結合状態の変化がEDS信号に与える影響は小さいため、この手法は試料の化学分析には適していません。ただし、試料の元素分布を特定するには優れた方法です。電子エネルギー損失分光法(EELS)と組み合わせて使用すると、試料の化学および組成の情報双方を簡単に分析できます。
他の同様の分析手法とは異なり、EDSは必要なセットアップが最小限で、厚めの薄膜試料からバルク試料まで幅広く使用できます。厚さの制限はありません。また、EDSは高いS/B比(SBR)を実現します。EDSの制限には、蛍光励起が非局所的、軽元素の分析に対する制限、薄膜の場合のSN比(SNR)の制限などがあります。
次の例では、半導体試料でEELS分析を行った後、1940 eVのSr L2,3端は0～850 eVのエネルギー範囲(上)に入りませんでした。スペクトルイメージングを使用し、EDS Sr元素マップを、EELSのTi、Fe、およびLaのマップ(下)と合わせて取得すると、集約した色付きマップには、各元素の分布がエネルギー範囲を超えて示されています。
デジタルカメラおよび周辺機器を制御して、トモグラフィ、その場観察、スペクトルイメージング、回析イメージングなどを含む様々なアプリケーションに対応します。
