EDSとは
エネルギー分散型X線分光法(EDS、EDX、XEDSなど)は、試料の分析と評価に使用される分析手法です。
元素組成分析は、異物、皮膜組成、微量構成物質、迅速な合金の同定、腐食評価、さらに相の同定や分布について理解するための重要な手法です。GatanのEDSツールは、これらの材料研究において定性的および定量的な知見をもたらし、微細構造の特定に役立つ元素マップを作成できます。
局所的な原子の化学結合状態の変化がEDS信号に与える影響は小さいため、この手法は試料の化学分析には適していません。ただし、試料の元素分布を特定するには優れた方法です。電子エネルギー損失分光法(EELS)と組み合わせて使用すると、試料の化学および組成の情報双方を簡単に分析できます。
他の同様の分析手法とは異なり、EDSは必要なセットアップが最小限で、厚めの薄膜試料からバルク試料まで幅広く使用できます。厚さの制限はありません。また、EDSは高いS/B比(SBR)を実現します。EDSの制限には、蛍光励起が非局所的、軽元素の分析に対する制限、薄膜の場合のSN比(SNR)の制限などがあります。
次の例では、半導体試料でEELS分析を行った後、1940 eVのSr L2,3端は0～850 eVのエネルギー範囲(上)に入りませんでした。スペクトルイメージングを使用し、EDS Sr元素マップを、EELSのTi、Fe、およびLaのマップ(下)と合わせて取得すると、集約した色付きマップには、各元素の分布がエネルギー範囲を超えて示されています。
Gatan Microscopy Suiteとしても知られるDigitalMicrographソフトウェア。デジタルカメラの制御と共に、電子線トモグラフィ、その場観察、スペクトラムイメージング、ディフラクションイメージング、その他多くのアプリケーションをサポート。
An enhanced energy dispersive spectroscopy (EDS) platform with the latest silicon drift detector (SDD) technology and high-speed electronics advancements.
A world-class materials characterization solution that provides users with elemental composition and crystallographic orientation results in one easy-to-use package.
By integrating energy dispersive spectroscopy (EDS) and wavelength dispersive spectrometry (WDS) analytical techniques on a single platform, EDAX Neptune provides the power and flexibility of EDS with the resolution, precision, and detection limits of WDS.
Premier software program for collecting and analyzing energy dispersive spectroscopy (EDS) data and the compositional characterization of materials.
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